A new failure mode of very thin (< 50 A) Thermal SiO2 Films / T.N. NGUYEN; P. OLIVO; B. RICCO'. - STAMPA. - (1987), pp. 66-71. ((Intervento presentato al convegno Int. Reliability Physics Symposium tenutosi a Los Angeles (USA) nel Apr. 1987.
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Titolo: | A new failure mode of very thin (< 50 A) Thermal SiO2 Films | |
Autori: | ||
Data di pubblicazione: | 1987 | |
Handle: | http://hdl.handle.net/11392/464462 | |
Appare nelle tipologie: | 04.2 Contributi in atti di convegno (in Volume) |
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