A new failure mode of very thin (< 50 A) Thermal SiO2 Films

Nguyen, T. N.; Olivo, Piero; Ricco', B.

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A new failure mode of very thin (< 50 A) Thermal SiO2 Films / T.N. NGUYEN; P. OLIVO; B. RICCO'. - STAMPA. - (1987), pp. 66-71. ((Intervento presentato al convegno Int. Reliability Physics Symposium tenutosi a Los Angeles (USA) nel Apr. 1987.

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Titolo:	A new failure mode of very thin (< 50 A) Thermal SiO2 Films
Autori:	T. N. NGUYEN OLIVO, Piero B. RICCO' mostra contributor esterni nascondi contributor esterni
Data di pubblicazione:	1987
Handle:	http://hdl.handle.net/11392/464462
Appare nelle tipologie:	04.2 Contributi in atti di convegno (in Volume)

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