Viene descritto un processo per realizzare un rivestimento di carburo di silicio su superleghe mediante: trattamento nitrurante della superlega oppure nitrurazione per sputtering reattivo sulla superlega di un film di nitruro di titanio; deposizione chimica in fase vapore di un film sottile di nitruro di titanio; ricottura in atmosfera di azoto-idrogeno; deposizione chimica in fase vapore di uno strato di carburo di silicio.
Procedimento per realizzare rivestimenti di carburo di silicio
PARRETTA, Antonio
1990
Abstract
Viene descritto un processo per realizzare un rivestimento di carburo di silicio su superleghe mediante: trattamento nitrurante della superlega oppure nitrurazione per sputtering reattivo sulla superlega di un film di nitruro di titanio; deposizione chimica in fase vapore di un film sottile di nitruro di titanio; ricottura in atmosfera di azoto-idrogeno; deposizione chimica in fase vapore di uno strato di carburo di silicio.File in questo prodotto:
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