L’invenzione riguarda uno scatterometro a sfera integratrice per la caratterizzazione superficiale di campioni di materiale o la caratterizzazione di diffusione di sorgenti luminose di tipo puntiforme, comprendente: nel caso della caratterizzazione superficiale di campioni di materiale, una sorgente di luce che produce un fascio di luce collimato modulato ad una frequenza f1 che incide sul campione sotto analisi ad un angolo dELTA rispetto alla direzione normale z; e una testa di misura comprendente un fotorivelatore per la rivelazione di una parte di luce diffusa indietro dal campione in risposta a detto fascio di luce collimato, in trasmissione o in riflessione, oppure diffusa dalla sorgente luminosa di tipo puntiforme, caratterizzato dal fatto che detta parte di luce è raccolta da una sfera integratrice presentante una finestra, posta su un asse zeta orientato ad un angolo psi rispetto a detta direzione normale z e a distanza x dal campione o dalla sorgente luminosa di tipo puntiforme, la distanza x potendo assumere anche valori negativi per iquali la sorgente di tipo puntiforme risulta all’interno della sfera integratrice, detta parte di luce essendo raccolta entro un angolo solido omega attorno a detto asse zeta, ovvero entro un semiangolo lineare teta, il fotorilevatore misurando la luce integrata dalla sfera a partire dalla luce raccolta dalla sfera, l’angolo solido omega essendo funzione della distanza x. L’invenzione riguarda altresì un sensore utilizzante lo scatterometro nonché i relativi metodi di misura.
Scatterometro a sfera integratrice, sensore di posizione e dimensione di oggetti, e relativi metodi di misura
PARRETTA, Antonio;
2005
Abstract
L’invenzione riguarda uno scatterometro a sfera integratrice per la caratterizzazione superficiale di campioni di materiale o la caratterizzazione di diffusione di sorgenti luminose di tipo puntiforme, comprendente: nel caso della caratterizzazione superficiale di campioni di materiale, una sorgente di luce che produce un fascio di luce collimato modulato ad una frequenza f1 che incide sul campione sotto analisi ad un angolo dELTA rispetto alla direzione normale z; e una testa di misura comprendente un fotorivelatore per la rivelazione di una parte di luce diffusa indietro dal campione in risposta a detto fascio di luce collimato, in trasmissione o in riflessione, oppure diffusa dalla sorgente luminosa di tipo puntiforme, caratterizzato dal fatto che detta parte di luce è raccolta da una sfera integratrice presentante una finestra, posta su un asse zeta orientato ad un angolo psi rispetto a detta direzione normale z e a distanza x dal campione o dalla sorgente luminosa di tipo puntiforme, la distanza x potendo assumere anche valori negativi per iquali la sorgente di tipo puntiforme risulta all’interno della sfera integratrice, detta parte di luce essendo raccolta entro un angolo solido omega attorno a detto asse zeta, ovvero entro un semiangolo lineare teta, il fotorilevatore misurando la luce integrata dalla sfera a partire dalla luce raccolta dalla sfera, l’angolo solido omega essendo funzione della distanza x. L’invenzione riguarda altresì un sensore utilizzante lo scatterometro nonché i relativi metodi di misura.I documenti in SFERA sono protetti da copyright e tutti i diritti sono riservati, salvo diversa indicazione.
